韩国公司开发首款 EUV 光刻胶通过三星可靠性测试:打破完全依赖海外供应商的局面

韩国光刻胶供应商东进世美肯 (Dongjin Semichem) 表示,近日通过了三星电子的 EUV 光刻胶可靠性测试(合格)。这款光刻胶为双方合作研发,打破韩国 EUV 光刻胶完全依赖海外供应商的局 … Continue reading 韩国公司开发首款 EUV 光刻胶通过三星可靠性测试:打破完全依赖海外供应商的局面