新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重复定位精度 0.02mm

8 月 25 日消息,8 月 21 日~25 日,2024 世界机器人大会在北京举行,169 家企业展出 600 余件创新产品。 据介绍,真空机械手是芯片制造过程中,负责不同工位之间晶圆传输的关键设备 … Continue reading 新松公司攻克新一代真空机械手:可传输晶圆,重复定位精度 0.02mm